工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm
来源：观察者网
2024-09-14 21:56
据微信公众号“工信微报”消息，近日，工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。
“工信微报”介绍道，重大技术装备是国之重器，事关综合国力和国家安全。中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。
而观察者网注意到，在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，集成电路设备方面：氟化氩光刻机，光源193纳米，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
工信部网站
欧洲人很急：美伊谈判，没我们不行
“从纸老虎到斩杀线，中国年轻人对美幻灭了”
“万分期待，我的下一辆车是中国电动汽车”
“FBI局长已成国家安全隐患”，同僚夜不能寐
海峡开了又关，特朗普拉人开会，“战争或重新爆发”
举报
违反法律法规
色情、淫秽内容