EUV光刻机交付延迟,三星3nm量产推迟一年

来源:观察者网

2020-04-07 16:12

(文/观察者网 一鸣)4月6日,DigiTimes报道称,三星3nm工艺量产时间可能已经延期至2022年。

据报道,三星原计划在2021年初量产3nm,但新冠疫情蔓延,使得这一计划不得不延期一年。报道援引人士指出,这并非工艺制造上的延迟,而是因为极紫外EUV光刻机等关键设备在物流上出现了问题。

上述媒体指出,当前疫情对物流和交通运输服务造成了影响,导致3nm工艺所需的EUV光刻机和其他关键生产设备的交付延期,进而导致了量产的时间推迟。

三星早在去年就宣布将在3nm节点放弃鳍式场效晶体管(FinFET),转向环绕栅极晶体管(GAAFET)工艺,3nm GAE工艺号称可将核心面积减少45%,功耗降低50%,性能提升35%。

推迟3nm工艺生产的还不止三星一家,三星最大对手台积电也因为疫情的影响,导致半导体设备安装无法按期完成,使得原计划在今年6月份风险试产的3nm FinFET工艺,推迟到了10月。

而相对应的,台积电南科18厂的3nm生产线的完工也将顺延一个季度,这也让原本10月份安装设备的计划推迟到了2021年初。

作为目前全球最先进EUV光刻机的唯一供应商,荷兰阿斯麦尔(ASML)此前下调了今年一季度的业绩预期,由2019年第四季度及全年的业绩报告中预计的31亿欧元到33亿欧元之间,下调到了23亿欧元至24亿欧元之间。

阿斯麦尔称,调整今年一季度的业绩预期,主要还是受当前疫情的影响,影响主要体现在三个方面。一是部分光刻机的出货延迟,导致相应收入确认延迟;二是供应链在一季度出现了问题、三是部分厂商对他们的交付能力存在担忧,为了加快交付进度,部分厂商甚至要求他们在完成正常的工厂验收之前就交付。

虽然下调了一季度的营收预期,但阿斯麦尔的总裁兼CEO彼得·温宁克(Peter Wennink)表示,当前疫情对他们制造能力造成的影响还比较有限,到目前为止,他们还没有看到今年光刻机需求下滑的迹象。

三星和台积电都订购了阿斯麦尔的EUV光刻机。2018年5月,中芯国际也向荷兰阿斯麦尔(ASML)订购了一台最新型的EUV光刻机,价值高达1.5亿美元,原计划在2019年初交付。

不过,由于美国方面阻扰,这项交易至今仍未完成。

本文系观察者网独家稿件,未经授权,不得转载。

责任编辑:一鸣
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